日本愛發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修

愛發(fā)科PDR-090CLN干式多段式羅茨真空泵，用于分析儀器以及半導(dǎo)體生產(chǎn)和等離子清洗等潔凈制

程。此泵具有較高的耐腐蝕性能，高真度運行，由于具有優(yōu)異的抗靜態(tài)和動態(tài)內(nèi)應(yīng)力能力，所以泵能

提供更強的安全性。

真空泵不良現(xiàn)象及原因分析

1、不良現(xiàn)象：真空泵運行過載報警。

2、原因分析：

經(jīng)對真空泵進行拆解， 發(fā)現(xiàn)以下幾個問題點：

不良現(xiàn)象 原因分析

（1）轉(zhuǎn)子軸套部磨損：

因軸承磨損導(dǎo)致轉(zhuǎn)子下限，軸套部位與端蓋中間孔接觸磨擦所致。

（2）泵內(nèi)齒輪箱內(nèi)積碳：

因泵軸承損壞，轉(zhuǎn)子軸套與端蓋中間磨擦導(dǎo)致高溫，齒輪潤滑油因高溫氧化積碳。

（3）軸承磨損：

因軸承潤滑脂失效，軸承干性旋轉(zhuǎn)導(dǎo)致軸承滾珠在軸承內(nèi)干磨。

(4)軸封磨損:

因軸承干磨磨出金屬粉屑以及高溫將軸封磨損。

(5)軸套磨損:

因高溫運行，軸封密封部硬化，與軸套接觸部位剛性磨擦將其軸套磨損。

從事真空泵行業(yè)，主要銷售進口真空泵及配件，單級旋片真空泵，無油真空泵，

干式螺桿泵，羅茨真空泵，真空泵油，真空泵過濾器，真空泵葉片/碳片，真空泵維修包及保養(yǎng)包，提

供原廠配件對您的設(shè)備呵護。

保養(yǎng)維修：為客戶提供長期真空泵技術(shù)咨詢與指導(dǎo)，綜合維修保養(yǎng)、部件維修保養(yǎng)、預(yù)防性維修保

養(yǎng)、現(xiàn)場服務(wù)等售后服務(wù)項目。擁有專業(yè)的進口真空泵維修車間，配件充足/維修速度快/提供備用機/

延長質(zhì)保 。

指導(dǎo)檢測：公司擁有進口檢測設(shè)備與專業(yè)技術(shù)，提供質(zhì)量穩(wěn)定，確保維修過后達到的真空度和穩(wěn)

定性能，確保客戶生產(chǎn)安全無憂。我們的真空專家可以根據(jù)您在真空泵中的需求，提供準確、全面和

快速的響應(yīng)和支持。

日本愛發(fā)科干泵PDR-090CLN真空泵維修